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业务范围

光学微电子净化车间

产品描述

       

        光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和 生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度 化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目, 而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。 光学微电子净化工程一般包括: 1、 洁净生产区 2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等) 3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等) 4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

        光学微电子净化工程净化原理 气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌 等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。 光学微电子净化工程净化参数 换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa 平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。 温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。 噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。 光学微电子净化工程结构材料 1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等 一般采用专用氧化铝型材制造。 2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。 3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。 4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。


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